可以把洁净室技术分成三大范畴.这些范畴与洁净室用户对技术的应用是对应的,即从他决定购买洁净室开始,最后到洁净室运行为止.

洁净室技术的各个组成部分机器相互关系

首先,必须进行设计并建造出洁净室.为此,必须考虑:

(1)应采用什么设计标准;

(2)做何种设计平面布置图、使用何种建筑材料;

(3)如何向洁净室提供各种设施.

其次,洁净室已安装好并工作时,必须测试其是否符合设计规定.应在洁净室的寿命期中继续对其进行监测,以确保其仍然达到规定的设计要求.

最后,洁净室必须正确运行,这样所制造的产品才不至于受到污染.这就要求从人员与材料的入场,到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施.